高純水的制備通常只以電阻率來進行水質監控.這種制備方法需要若干步驟.以本地用水為純化水源時,須在*終精制之前對其進行預處理.純化的初始步驟包括DI(去離子技術)或者RO(反滲透)/EDI(連續電流去離子技術)聯用.盡管通過這兩種技術都能獲得電阻率較高的高純水,但是當更能精確地監控高純水質量的TOC(有機碳總量)也被列入考查指標的時候,不同制備技術得到的高純水之間水質的差異就明顯了.由于TOC偏高,選用去去離子技術(DI)進行預處理需要更加嚴謹的維護和操作.而且,樹脂再生之后使用,容易導致有機物脫落進入離子交換精制介質甚至后面的過濾器,進而影響、削弱整個系統的效率、可靠性和使用壽命.