正通常采用電阻率、粒子大小和細菌數目來衡量高純水的純度。目前主要以電阻率為標準,它的單位以兆歐 厘米來表示。水在25℃時的*高電阻率為18.3兆歐 厘米。水質的好壞與電阻率的高低成正比。 按電阻率高低,可將純水分為四類: (1)軟化水:硬度為0.1～5 之間; (2)脫鹽水:25℃時電阻率為0..1～1兆歐 厘米; (3)純水:25℃時水的電阻率為1～10兆歐 厘米; (4)高純水:25℃時水的電阻率為10兆歐 厘米以上。 由于用途不同而對水的質量的要求也不同。如,對于集成電路的生產用水,其要求是:電阻率為18～19兆歐 厘米,粒子尺寸0.45微米,細菌數為0～10個/毫升。