多年來VLSI 設(shè)計中的“十進(jìn)規(guī)則”一直支配著允許的*大顆粒尺寸,例如對1.5μm 的設(shè)計,要求其顆粒不得大于0.15μm.Dr.Lou Sarto 說“為了消除致命的缺陷,隨著半導(dǎo)體器件線寬的縮小更有必要檢測愈來愈小的粒子沾污”.但是,當(dāng)高純水設(shè)備的出水中允許的粒子尺寸和其總數(shù)急劇下降時,粒子數(shù)的計數(shù)和對超純水質(zhì)的評價也日益困難.顆粒的來源眾所周知,超純水中所含的雜質(zhì)有細(xì)菌、無機(jī)離子、總有機(jī)碳、SiO_2和微粒等.