從出水水質和運行參數控制兩方面,對高純水設備模塊受化學污染情況進行了試驗研究。結果表明,根據產水電導率的變化可判斷出高純水設備模塊的結垢初始點,且化學污染主要發生在陽離子樹脂上;為有效控制化學污染,應選擇適當的進水流量和操作電流(以產水電導率0.2μS/cm為控制指標,該試驗裝置的*佳流量和電流分別為162 L/h和2 A)。另外,通過正交試驗確定了高純水設備模塊的*優清洗方案,即用2%的HCl清洗30 min,并浸泡2 h。