本文研究了采用反滲透-連續電除鹽法(RO-EDI)方案的高純水設備制備純化水的原理、設備構成、日常操作、分析和優化了高純水設備制水的運行條件,并簡要研究了在水系統驗證中若干相關問題。作為一種*的高純水設備設計工藝,與傳統的離子交換法(DI)相比,該套高純水設備具有易于操作、維護方便、產水水質好、自動化程度高、運行費用低等優點,且該高純水設備無須進行化學再生和加鹽操作。在*佳條件下,可以生產出電阻率達17-18 MΩ·cm高標準的純化水。在水系統驗證中,著重研究了安裝確認、運行確認、性能確認等有關內容,以確保能夠得到可靠的驗證數據來保證水系統的正常運行和產水質量符合要求。