隨著半導體市場的建立和壯大,作為供給半導體生產線不可缺少的高純水設備成為保障生產的重中之重。在目前生產高純水的各種各樣的*的水處理設備中時常會出現一些不可預知的故障,*早人們采用故障診斷的方法是人工方法,由工程技術人員或者專家憑經驗進行判斷,或者是利用專門的儀器進行現場測量得以分析判斷,這些方法在大型復雜系統中是不現實的。因此我們要把控制理論、人工智能以及模式識別等學科技術容入到故障診斷技術中去使其成為一門相對獨立發展的技術,成為實際大規模復雜系統運行過程中的可靠保障。 本文首先通過對生產現場的工藝原理和流程分析,采用GE90系列的PLC對此套高純水設備自動化控制進行編制,介紹了系統的硬件組成和各個控制回路的控制要求以及程序流程圖。 針對于在高純水監控系統實現上采用了組態王6.5軟件設計界面,詳述了組態王設計監控界面的過程,展示了系統詳圖、報警圖、報表圖、曲線圖等實時監控圖面。 作為控制系統,大家熟知的神經網絡、模糊數學等這些方法通常需要復雜的計算,并且只有在信息準確、完整的情況下才能得到滿意的結果,而實際上人們得到的信息往往不準確、不完整,并且通常設備的某一故障可以體現在所有的特征信號之中,而這些信號之間存在冗余的關系,可能通過某個或少量特征信號就可以完全表征出該故障。因此一種新的處理模糊和不確定性知識的數學工具粗糙集理論成為越來越多科研人員的關注。粗糙集理論是一個有效的工具,主要應用于數據挖掘,其它領域如模糊粗糙集控制、決策分析系統以及醫療診斷、專家系統等方面都有應用,但在故障診斷技術中的應用還不是很多。因此本文嘗試研究粗糙集理論在高純水設備故障診斷中的應用,包括建立基本粗糙集模型,以及故障診斷系統的仿真實驗。在介紹了粗糙集的基本概念和理論后,利用收集到的部分數據進行了初步的RS建模、分明矩陣的約簡和規則庫的建立。*后應用了VB軟件作為故障診斷系統開發,作為檢驗故障診斷系統生成后可行性的平臺。通過得到的實驗數據進行仿真實驗,做到了在保證分類能力不變的情況下冗余信息的消除,降低了計算工作量和減少不確定性因素的影響,在仿真實驗結果分析中與實際生產線故障分析相比較,是基本一致的,去除掉了那些冗余的因素,快速的得到了診斷結果。