主要就應用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所需純凈水生產(chǎn)的水處理工藝,論述基于“HMI-PLC-VFD”的自動控制系統(tǒng)的高純水設備設計方法,并提出了柔性控制的程序設計方案.文章主要包括引言,工藝概述、控制系統(tǒng)設計以及控制策略優(yōu)化等內(nèi)容,從工程應用的角度,給出了高純水設備實用的解決方案.